SMC APTech

簡(jiǎn)要描述：AZ1500 系列高純度用一段式減壓閥小流量膜片閥芯一體構(gòu)造 APTech
●適用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)等高純度的氣體供給
適用于高純度工藝氣體的供給氣路
● 對(duì)應(yīng)進(jìn)口側(cè)高壓　最大24.1MPa、HR規(guī)格（可選項(xiàng)）：最大31MPa
● 流量范圍　標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格：＜30L/min（nor）
HF規(guī)格可選項(xiàng) ：120L/min（nor）
● 主體材質(zhì)　SUS316L
● 需抗腐蝕的場(chǎng)合，內(nèi)部材質(zhì)也可是Ni

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號(hào)

AZ1500系列

廠商性質(zhì)

代理商

更新時(shí)間

2025-12-16

瀏覽次數(shù)

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

SMC

開關(guān) SMC方向控制閥 SMC氣缸 SMC電動(dòng)執(zhí)行器 SMC真空元件 SMC空氣過濾 SMC流體閥 SMC氣管接頭 SMC傳感器

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詳細(xì)介紹

品牌	SMC/日本	應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,化工,制藥/生物制藥,電氣,綜合

AZ1500 系列高純度用一段式減壓閥小流量膜片閥芯一體構(gòu)造 APTech:

●適用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)等高純度的氣體供給
●閥體材質(zhì): SUS316L 二次熔煉或SUS316L
●接氣部電解拋光處理
●外部間隙密封構(gòu)造 SMC APTech

SMC APTech 注1）閥座材質(zhì)是聚酰亞胺的場(chǎng)合為－10~90℃。
注2）用鐘罩法（氦氣進(jìn)口側(cè)壓力10.5MPa）測(cè)定。
注3）用鐘罩法（氦氣進(jìn)口側(cè)壓力7MPa）測(cè)定。
注4）重量是大致值，隨配管連接方式或可選項(xiàng)等而有所不同。
● 適用于高純度工藝氣體的供給氣路● 對(duì)應(yīng)進(jìn)口側(cè)高壓　最大24.1MPa、HR規(guī)格（可選項(xiàng)）：最大31MPa● 流量范圍　標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格：＜30L/min（nor）HF規(guī)格可選項(xiàng) ：120L/min（nor）● 主體材質(zhì)　SUS316L● 需抗腐蝕的場(chǎng)合，內(nèi)部材質(zhì)也可是Ni-Cr-Mo合金規(guī)格● 膜片閥芯一體結(jié)構(gòu)